加热和制冷过程的温度变化以及化学处理过程会引起晶圆载具尺寸发生变化，从而导致晶片擦伤或破裂，设备校正时间增长，并最终降低了产出和设备生产力，对质量至关重要的是，在晶圆与载具齿的接触点所产生的载具颗粒会直接导致晶片瑕疵，进而影响晶圆产量，工程师估计大约20%的外来材料瑕疵与由普通碳粉填充材料制成的晶圆载具产生的黑色粉末有关。

与普通的晶圆载具材料（如聚丙烯，PBT）相比，PEEK聚合材料的尺寸稳定好的多，对各种表面的耐磨性更高，产生的颗粒更少，PEEK聚合材料还能在温度的持续变化中保持稳定的物理性能，晶圆制造商的研究和分析表明PEEK聚合材料的性能有助于减少尺寸的 变化和外来材料问题，从而提高了产量和设备的使用效率。

优点：

1、优异的尺寸稳定性
2、良好的耐磨性
3、在不同温度下的稳定物理性能

4、纯净度高，不产生污染。